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一✘▩•↟↟、半導體制造工藝過程中揮發的各種有機廢氣•╃▩↟╃,半導體廢氣排放具有排氣量大✘▩•↟↟、排放濃度小的特點·☁•。這些廢氣排放主要可以分為四類▩↟│▩:酸性氣體✘▩•↟↟、鹼性氣體✘▩•↟↟、有機廢氣和有毒氣體·☁•。 1✘▩•↟↟、酸鹼廢氣...